Nanoscopie appliquée à la caractérisation des matériaux

Abstract

Dans les techniques de mesure industrielles, les méthodes optiques prennent de plus en plus d’importance, ceci est dû aux contrôles devant être effectués sur de nouveaux matériaux pour lesquels les méthodes classiques ne conviennent pas. La microscopie interférentielle numérique a donné une nouvelle impulsion à l’analyse des surfaces avec une résolution latérale micronique et une résolution longitudinale nanométrique. Ceci est utile pour l’analyse tridimensionnelle des défauts de surface dans beaucoup d’applications sur des matériaux massifs et épitaxiés. Maintenant il est possible d’effectuer un contrôle des matériaux sans contact et non destructif avec une grande résolution locale. Dans cet article nous présentons le dispositif complet de Nanoscopie qui a été réalisé, et utilisant une technique de microscopie interférentielle.