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http://dspace1.univ-tlemcen.dz/handle/112/4329
Titre: | Dépot de couches minces d'xyde de zinc avec axe e incliné par la pulvérisation magnétron et la réalisaton des dispositifs à acoustiques de surface SAW. |
Auteur(s): | BENSMAINE_nee_MEDJADI, Souhila |
Mots-clés: | Oxde zinc -Axe anclinØ-SestLmes -Saw-Caractirisations structurales et physico-chimique de surface. |
Date de publication: | 3-mar-2014 |
Résumé: | Ce travail a pour but dépôt de couches de zinc avec axe c incliné par la méthode de la pulvérisations magnétron et la réalisation des dispositifs à ondes acoustiques de surface SAW.LE développement de procédés technologiques nécessaires pour la réalisation de ces dispositifs a fait l'objet d'une grande partie d'étude.Nous avons pu optimiser les paramètres de dépot de la pulvérisation magnétron pour des films ZnO piézolélectriques et orientés (002) perpendiculaire à la surface du substrat. |
URI/URL: | http://dspace.univ-tlemcen.dz/handle/112/4329 |
Collection(s) : | Doctorat classique en Physique |
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