Veuillez utiliser cette adresse pour citer ce document : http://dspace1.univ-tlemcen.dz/handle/112/4329
Titre: Dépot de couches minces d'xyde de zinc avec axe e incliné par la pulvérisation magnétron et la réalisaton des dispositifs à acoustiques de surface SAW.
Auteur(s): BENSMAINE_nee_MEDJADI, Souhila
Mots-clés: Oxde zinc -Axe anclinØ-SestLmes -Saw-Caractirisations structurales et physico-chimique de surface.
Date de publication: 3-mar-2014
Résumé: Ce travail a pour but dépôt de couches de zinc avec axe c incliné par la méthode de la pulvérisations magnétron et la réalisation des dispositifs à ondes acoustiques de surface SAW.LE développement de procédés technologiques nécessaires pour la réalisation de ces dispositifs a fait l'objet d'une grande partie d'étude.Nous avons pu optimiser les paramètres de dépot de la pulvérisation magnétron pour des films ZnO piézolélectriques et orientés (002) perpendiculaire à la surface du substrat.
URI/URL: http://dspace.univ-tlemcen.dz/handle/112/4329
Collection(s) :Doctorat classique en Physique

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